Herstellung von Halbleitern

Hochleistungsberstscheiben für eine sicherere, sauberere und effizientere Halbleiterfertigung

Unsere Hochleistungsberstscheiben aus Metall sind auf Sicherheit ausgelegt, wobei ein zusätzlicher Schwerpunkt auf der Aufrechterhaltung der Integrität von hochreinen Chemikalien und Reinraumbedingungen liegt.

Sie bieten einen leckdichten, kontaminationsfreien Überdruckschutz für die Rohstoffe, die transportiert, gelagert und für die Verwendung vorbereitet werden müssen, und sie sind für einen effizienten Betrieb innerhalb der engen Druck- und Durchflussspezifikationen ausgelegt, die erforderlich sind, um die Systeme zur Herstellung von Chips sicher und einfach zu warten.

Schutz von ultrahochreinen Chemikalien für die Elektronikindustrie

In der Halbleiterherstellung wird eine Reihe von Spezialchemikalien zum Reinigen, Ätzen, zur Reduzierung von Verunreinigungen, in der Fotolithografie und als Ausgangsmaterial verwendet.

Unsere Berstscheiben bilden eine leckdichte Dichtung und bieten eine ideale Methode zum Schutz der Anlagen, die zur Herstellung, zum Transport, zur Lagerung und zur Verarbeitung dieser Chemikalien verwendet werden.

Eine optionale Teflonmanschette schützt die Medien vor Verunreinigungen und verhindert gleichzeitig, dass Korrosion und Feuchtigkeit die Berstscheibe Baugruppe beeinträchtigen. Dies trägt zur Verlängerung der Nutzungsdauer bei, und sofern kein Überdruckereignis eintritt, kann die Scheibe während der gesamten Lebensdauer des Chipherstellungsprojekts in Betrieb bleiben. Wir bieten auch Elektropolieren als Alternative zum Teflon-Booting an.

Unser innovativer Flo-Tel Berstsensor sendet eine sofortige Benachrichtigung, wenn eine Berstscheibe aktiviert wird. Flo-Tel ist nicht invasiv und hält hochreine Chemikalien intakt. Er kann nicht durch zu starkes Anziehen während der Installation beschädigt werden. Flo-Tel bietet erhöhte Zuverlässigkeit mit einer Lebensdauer, die den gesamten Chip-Herstellungszyklus überdauert.

Drucksicherheit in der Chipherstellung

Unsere Berstscheiben sind so konzipiert, dass sie einen dauerhaften, präzisen und zuverlässigen Überdruckschutz bieten, unabhängig davon, ob sie in Wärmetauschern, Druckbehältern, Pumpen, Ventilen und Systemen zur Lieferung von Chemikalien in großen Mengen (BCDS), zur Wasseraufbereitung oder in der Tieftemperaturtechnik eingesetzt werden. Wir bieten branchenweit führende niedrige Kr-Werte für eine höhere Effizienz beim Bersten, kombiniert mit engen Bersttoleranzen und hohen Betriebsverhältnissen, die zur Steigerung der Ausbeute beitragen können.

Die robuste Ganzmetallkonstruktion ist für den effizienten Betrieb in der sorgfältig kontrollierten Umgebung einer Halbleiterfabrik, einschließlich des Reinraums, ausgelegt. Nachfolgend sind einige der häufigsten Anwendungen aufgeführt, die einen Drucksicherheitsschutz erfordern.

Chemische Wärmetauscher

Die Wärmeübertragung von einem Medium in ein anderes ist in chemischen Anlagen, petrochemischen Anlagen, Erdölraffinerien, Gasverarbeitungsanlagen und Kraftwerken weit verbreitet. Sie erfordern oft einen speziellen Überdruckschutz.

Gas-Kompressoren

Gaskompressoren verwenden traditionell ein Überdruckventil als primäre Entlastungsvorrichtung. OsecoElfab stellt Hochleistungsberstscheiben her, die fast keine Wartung benötigen und den hohen Vibrationen standhalten, die ein Kompressor verursachen kann. Wenn eine Berstscheibe mit einem Berstsensor gepaart wird, können Kompressoren im Falle eines Überdrucks abgeschaltet werden, wodurch Umweltschäden vermieden werden.

Gas-Kühler & Wärmetauscher

Berstscheiben dienen als primäre Ventilabsperrung oder sekundäre Druckentlastungseinrichtung in Rohrbündel-Gaskühlern und Wärmetauschern.

Industrielle Gasspeicherung und -transport

Bei der Lagerung von Flüssigstickstoff werden in der Regel Berstscheiben als sekundäre Druckentlastung eingesetzt, die eine alternative Sicherheitseinrichtung für den Fall bieten, dass das primäre Sicherheitsventil nicht erfolgreich arbeitet. Viele andere Behälter für den Transport und die Lagerung von Industriegasen oder kryogenen Gasen können mit Berstscheiben ausgestattet werden, um katastrophale Ereignisse zu verhindern.

Druckgefäße

Alle Prozessbehälter, die einem Druck über dem Atmosphärendruck ausgesetzt sind, kommen für Berstscheibe Lösungen in Frage. Berstscheiben werden in der Regel als primäre Entlastungsvorrichtung für Druckbehälter und Drucktanks verwendet. Sie müssen sowohl einem vollen Vakuum standhalten als auch vor Überdruckbedingungen schützen.

Isolierung des Sicherheitsventils

Berstscheiben werden häufig zur Absperrung des Einlasses von Sicherheitsventilen verwendet, um die Ventileinbauten vor korrosiven Prozessen zu schützen. ASME Abschnitt VIII erkennt die Verwendung von Berstscheiben unter Paragraph UG-127 an.

Tank- und Flaschenüberdruckschutz

Kleine Berstscheibe Baugruppen werden verwendet, um die unter Druck stehenden Flaschen während der Abfüllung, des Transports oder während des Gebrauchs vor Überdruck zu schützen.

Allgemeine Anwendungen

  • Wärmetauscher
  • Druckbehälter
  • Glühereien
  • Intermodale Container
  • Gasflaschen
  • Kryogenische Tanks
  • Kufen für die Wasseraufbereitung
  • Isolierung des Überdruckventils

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